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中国半导体行业这些年一直卡在脖子上，尤其是光刻设备这块，国外几家大厂把持着高端货源。上海微电子装备公司从2002年起步，就开始琢磨怎么自己搞定这些玩意儿。起初他们从干式系统入手，用248纳米波长的氟化氪激光，针对90纳米以上的芯片制程。团队一步步试探，买些进口零件测试匹配度，同时自己鼓捣激光源，慢慢减少对外依赖。到了2007年，第一款90纳米级产品出炉，主要用在芯片封装上，这算打开了局面。
研发没停过，2010年后转向更精细的氟化氩浸没式，瞄准28纳米节点。分成小组，各管一块：激光稳定性、镜头精度、液体控制。激光用本土货，输出功率得稳住每秒几十次脉冲，避免能量波动坏事。镜头用本地玻璃，抛光反复调，确保变形率低。浸没用纯水提高折射，但早期测试有气泡捣乱，通过改泵速和加剂子搞定。2015年左右，项目到验证关口，建模拟线跑几百小时，记录图案准度。早期版在多曝光下能到32纳米，但成品率只六成。靠电脑软件模拟光路，改镜子布局优化。
供应链也跟上，与本土材料厂合作，高纯试剂和精密件逐步自给。2018年，原型组好，在小批晶圆上试，确认后段工艺行。2020年后，外头管制紧，团队扩到千人，建专厂。重点是同步控制，台子移动准到纳米级。用双台设计，一个曝一个备，提高每小时过片量。2022年，内测过关，稳在28纳米，适合电源芯片。2023年，外测启动，与代工厂联手装机。数据显，对准误差控在5纳米，商用OK。
2024年上半年，优化完，加自动校准少人手。9月，工信部文件把这款193纳米浸没式氟化氩机列进重大装备，认可产业潜力。部件如激光和镜头全本土，链条从原料到组装自控。首批订单国内芯片厂，用来升级线。整个过程20多年，花几十亿，跨光学机械软件，迭代设计几百次，缩小与外头差距。还注重接口标准，方便替进口机。加诊断系统监异常。2023测试热问题，换液氮凉，连续跑一周良率85以上。文件出后，从实验转应用，帮国内厂防供应链断。
话说这事一出，国外反应挺有意思。荷兰阿斯麦那边，高层2024年9月采访里露不满，中国占他们DUV销售大头，现在潜在丢单。公司说这会乱市场平衡，加不确定。实际2024年前三季，中国猛买DUV备禁令，阿斯麦中国销飙，但2025年预计降，因为北京自给推。阿斯麦还提逆向工程案，中国公司拆机坏了找修，显示依赖但也想自立。气愤在丢份额，2025年三季报预警中国需求坠。
韩国三星和海力士意外中国快，本靠阿斯麦产先进芯片，现在担心竞争。2025年美国撤豁免，三星海力士中国厂买设备需证，难产高端。海力士12层HBM用DUV部分，中国自给或分流订单。韩国报析，中国28nmDUV填空白，逼韩企多投研备链。意外在速度，2024传闻上海微电28nm机已交付，2025中芯测，韩企觉超出预期。
美国官员媒体里说惊讶，进展超预，白宫评政策效，2024年12月更管制，延合规到年底，限DUV浸没。政府推荷兰日本紧控，防中国用DUV产小节点如5nm。2025报告指阿斯麦2024多数DUV浸没销中国，干式也大部中国。美方持续监，更新实体单，针对华为中芯自立链。意外在中国禁下还推DUV，2024紧控老ASML机，但中国用多曝伸DUV限。
日本零部件厂感压增，中国自机或少买日材，链调。媒体报，本国供商订单威胁，需对华出口变。2024年6月，美推日荷限更多设备，中国9月警告日别跟，威胁经济反。日企如东京电子供镜头组件，中国DUV本土化减依赖。反应在求新合，避免单市。2024控紧，2025日荷发独立证，推美控。
这事本质是半导体链重塑，中国从依赖转自给，国外从垄断到防。荷兰气在丢金，中国销曾占三成，现在本土机抢。韩国美意外速度，本以为管制拖几年，中国用政策投赶。实际中国DUV虽非EUV顶，但够用28nm下，填中端空。长远，中国链成，减外压，各国调策应。接地说，像打牌，中国抽底牌，别人得重洗。内涵在，自立不光技，还链安，全球竞从零和转共。2025中芯测成，标志转，未来看谁跑快。
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